Модификация поверхности кремния мощными световыми импульсами

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация

Изучена возможность модификации приповерхностного слоя кремния до и после ионной имплантации с последующим импульсным световым отжигом для возможности структуирования поверхности подложек с целью повышения эффективности их применения в солнечной энергетике. Проведено сравнение результатов с данными, полученными на монокристаллическом и имплантированном германии.

Полный текст

Доступ закрыт

Об авторах

Б. Ф. Фаррахов

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Федеральный исследовательский центр «Казанский научный центр Российской академии наук»

Автор, ответственный за переписку.
Email: bulat_f@mail.ru

Казанский физико-технический институт имени Е.К. Завойского

Россия, Казань

Я. В. Фаттахов

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Федеральный исследовательский центр «Казанский научный центр Российской академии наук»

Email: bulat_f@mail.ru

Казанский физико-технический институт имени Е.К. Завойского

Россия, Казань

А. Л. Степанов

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Федеральный исследовательский центр «Казанский научный центр Российской академии наук»

Email: bulat_f@mail.ru

Казанский физико-технический институт имени Е.К. Завойского

Россия, Казань

Список литературы

  1. Королева Д.А., Целищев В.А., Шайдаков В.В. Солнечная энергетика. М.: Инфа-Инженирия, 2023. 140 с.
  2. Смердов Р.С. // Физ. образ. в вузах. 2019. Т. 25. № 2. С. 276.
  3. Codrin A., Elena L., Stephen C. // PLoS ONE. 2014. V. 9. No. 10. Art. No. e109836.
  4. Аржанов А.И., Савостьянов А.О., Магарян К.А. и др. // Фотоника. 2022. Т. 16. № 2. С. 96; Arzhanov A.I., Savostianov A.O., Magaryan K.A. et al. // Photonics Russ. 2022. V. 16. No. 2. P. 96.
  5. Lima Monteiro D., Honorato F., Oliveira Costa R., Salles L. // Int. J. Photoener. 2012. V. 2012. Art. No. ID743608.
  6. Macdonald D., Cuevas A., Kerr M. et al. // Proc. Solar World Congress (Adelaide, 2001). P. 1.
  7. Томаев В.В., Полищук В.А., Леонов Н.Б., Вартанян Т.А. // Изв. РАН. Сер. физ. 2023. Т. 87. № 10. С. 1446; Tomaev V.V., Polishchuk V.A., Leonov N.B., Vartanyan T.A. // Bull. Russ. Acad. Sci. Phys. 2023. V. 87. No. 10. P. 1478.
  8. Lima Monteiro D.W., Akhzar-Mehr O., Sarro P.M., Vdovin G. // Opt. Express. 2003. V. 11. No. 18. P. 2244.
  9. Rebecca S. // Progr. Photovolt. Res. Appl. 2021. V. 29. P. 1125.
  10. Hyeon-Seung L., Jaekwon S., Hyeyeon K. et al. // Sci. Reports. 2018. V. 8. Art. No. 3504.
  11. Гончар К.А., Божьев И.В., Шалыгина О.А., Осминкина Л.А. // Письма в ЖЭТФ. 2023. Т. 117. № 2. С. 115; Gonchar K.A, Bozh’ev I.V., Shalygina O.A., Osminkina L.A. // JETP Lett. 2023. V. 117. No. 2. P. 111.
  12. Фаттахов Я.В., Галяутдинов М.В., Львова Т.Н., Хайбуллин И.Б. // Опт. и спектроск. 2000. Т. 89. № 1. С. 182; Galyautdinov M.F., Farrakhov B.F., Fattakhov Ya.V., Zakharov M.V. // Opt. Spectrosc. 2009. V. 107. No. 1. P. 640.
  13. Фаррахов Б.Ф., Фаттахов Я.В., Галяутдинов М.Ф. // ПТЭ. 2019. № 2. С. 93; Farrakhov B.F., Fattakhov Ya.V., Galyautdinov M.F. // Instrum. Exp. Tech. 2019. V. 62. P. 226.
  14. Stepanov A.L., Farrakhov B.F., Fattakhov Ya.V. et al. // Vacuum. 2021. V. 186. Art. No. 110060.
  15. Гаврилова Т.П., Фаррахов Б.Ф., Фаттахов Я.В. и др. // ЖТФ. 2022. Т. 96. № 12. С. 1827; Gavrilova T.P., Farrakhov B.F., Fattakhov Ya.V. et al. // Tech. Phys. 2022. V. 67. No. 12. P. 1586.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать
2. Рис. 1. Фотографии поверхности кремния КДБ-1 (111), имплантированного ионами фосфора P+ с энергией 50 кэВ и дозой 3.12⋅1015 см−2 через металлическую сетку периодом 40 мкм, после импульсного светового отжига на УОЛ.П-1 с плотностями мощности 60 (а), 240 (б), 900 Вт⋅см−2 (в) и длительностями 3.5 (а), 750 (б) и 120 мс (в) соответственно. Фотографии неимплантированного кремния КДБ-1 (100) после импульсного светового отжига на УОЛ.П-1 с плотностью мощности 1200 Вт⋅см−2 и длительностями 70 (г) и 90 мс (д) (поверхность до отжига шлифовалась).

Скачать (351KB)
Метаданные
3. Рис. 2. Фотографии поверхности неимплантированного кремния КДБ-1 (100) (а), (111) (б, в) после импульсного светового отжига на установке «Импульс-6» с плотностью мощности 20 Вт⋅см−2 и длительностями 5 (а), 10 (б) и 15 с (в) соответственно. Фотографии имплантированного ионами Ag+ германия с энергией 30 кэВ и дозой 1.5⋅1017 см−2, отожженного световыми импульсами с плотностью мощности 10 Вт⋅см−2 и длительностями 6 (г) и 4.5 с (д).

Скачать (350KB)
Метаданные

© Российская академия наук, 2024