Fabrication of GRIN microstructures by two-photon lithography

M. D. Aparin; Апарин М. Д.; T. G. Baluyan; Балуян Т. Г.; M. I. Sharipova; Шарипова М. И.; M. A. Sirotin; Сиротин М. А.; E. V. Lyubin; Любин Е. В.; I. V. Soboleva; Соболева И. В.; V. O. Bessonov; Бессонов В. О.; A. A. Fedyanin; Федянин А. А.

doi:10.31857/S0367676523701405

Создание оптических микроструктур с градиентным показателем преломления методом двухфотонной лазерной литографии

Авторы: Апарин М.Д.¹, Балуян Т.Г.¹, Шарипова М.И.¹, Сиротин М.А.¹, Любин Е.В.¹, Соболева И.В.¹, Бессонов В.О.¹, Федянин А.А.¹
Учреждения:
1. Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования “Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова”, Физический факультет
Выпуск: Том 87, № 6 (2023)
Страницы: 807-812
Раздел: Статьи
URL: https://rjeid.com/0367-6765/article/view/654377
DOI: https://doi.org/10.31857/S0367676523701405
EDN: https://elibrary.ru/VKYZQG
ID: 654377

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ
Доступ закрыт

Доступ предоставлен
Доступ закрыт

Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

Метод двухфотонной литографии использован для изготовления оптических микроструктур с градиентом показателя преломления. На примере параллелепипедов, при печати которых используются заданные линейное или гауссово пространственные распределения мощности лазерного излучения, показана принципиальная возможность локально изменять показатель преломления на величину до 0.03. Предложенный метод перспективен для создания микрооптических элементов.

Список литературы

Gomez-Reino C., Perez M., Bao C. Gradient-index optics: fundamentals and applications. Springer, 2002. 239 p.
Hwang Y., Phillips N., Dale E.O. et al. // Opt. Express. 2022. V. 30. No. 8. P. 12294.
Gomez-Reino C., Perez M.V., Bao C., Flores-Arias T.M. // Laser Photon. Rev. 2008. V. 2. No. 3. P. 203.
Kundal S., Bhatnagar A., Sharma R. Optical and wireless technologies, Springer, 2022. 443 p.
Pickering M.A., Taylor R.L., Moore D.T. // Appl. Opt. 1986. V. 25. No. 19. P. 3364.
Ohmi S., Sakai H., Asahara Y. et al. // Appl. Opt. 1988. V. 27. No. 3. P. 496.
Sinai P. // Appl. Opt. 1971. V. 10. No. 1. P. 99.
Liu J.H., Yang P.C., Chiu Y.H. // J. Polym. Sci. A. 2006. V. 44. No. 20. P. 5933.
Liu J.H., Chiu Y.H. // Opt. Lett. 2009. V. 34. No. 9. P. 1393.
Mingareev I., Kang M., Truman M. et al. // Opt. Laser Technol. 2020. V. 126. Art. No. 106058.
Dylla-Spears R., Yee T.D., Sasan K. et al. // Sci. Advances. 2020. V. 6. No. 47. Art. No. eabc7429.
Mao M., He J., Li X. et al. // Micromachines. 2017. V. 8. No. 4. P. 113.
Sharipova M.I., Baluyan T.G., Abrashitova K.A. et al. // Opt. Mater. Express. 2021. V. 11. No. 2. P. 371.
Zhou X., Hou Y., Lin J. // AIP Advances. 2005. V. 5. No. 3. Art. No. 030701.
Ocier R.C., Richards C.A., Bacon-Brown D.A. et al. // Light Sci. Appl. 2020. V. 9. Art. No. 196.
Žukauskas A., Matulaitienė I., Paipulas D. et al. // Laser Photon. Rev. 2015. V. 9. No. 6. P. 706.
Pertoldi L., Zega V., Comi C., Osellame R. // J. Appl. Phys. 2020. V. 128. No. 17. Art. No. 175102.
Drexler W., Fujimoto J.G. Optical coherence tomography. Technology and applications. Springer, 2008. 1327 p.
Sirotin M.A., Romodina M.N., Lyubin E.V. et al. // Biomed. Opt. Express. 2022. V. 13. No. 1. P. 14.
Safronov K.R., Gulkin D.N., Antropov I.M. et al. // ACS Nano. 2020. V. 14. No. 8. P. 10428.
Safronov K.R., Bessonov V.O., Akhremenkov D.V. et al. // Laser Photon. Rev. 2022. V. 16. No. 4. Art. No. 2100542.
Giessibl F.J. // Rev. Mod. Phys. 2003. V. 75. No. 3. P. 949.