Informaçao sobre o Autor
Сидоров, Ф. А.
| Edição | Seção | Título | Arquivo |
| Volume 52, Nº 2 (2023) | ЛИТОГРАФИЯ | Cross Sections of Scattering Processes in Electron-Beam Lithography | |
| Volume 54, Nº 1 (2025) | МОДЕЛИРОВАНИЕ | Calculation of distributions of electron beam energy absorbed in PMMA and Si using various scattering models |